台积电称无需 ASML 的 High-NA EUV 即可实现下一代 A16 工艺节点

台积电高管周二表示,不一定需要使用 ASML 下一代 High NA EUV 机器,用于即将推出的芯片制造技术 A16,该技术正在开发中,预计于 2027 年推出。High NA 光刻工具有望帮助将芯片设计缩小三分之二,但芯片制造商必须权衡这一优势与更高的成本,以及 ASML 的旧技术是否可能更可靠、更好。每台 High NA EUV 工具的成本预计超过 3.5 亿欧元,而 ASML 常规 EUV 机器的成本则为 2 亿欧元。台积电是全球最大的合同芯片制造商,也是 ASML 常规 EUV 机器的最大用户。而另一方面,英特尔则已经打包预定了 ASML 今年所有的 High NA 设备出货量。

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